光学结构：采用Paschen-Runge结构和Rowland圆设备，以减少环境温度和真空度变化引起的应力释放影响，提高仪器的准确性和稳定性。

光学焦距：光栅半径400mm，较长的焦距为仪器提供了优异的分辨率。

光谱范围：可检测波长范围（120 ~ 800）nm，可以分析包括N、Li、Na、K等常规元素，以满足各种基体材料对测试元素的需求。

入口狭缝：狭缝宽度12μm，精细的入口狭缝有效过滤掉不必要的杂散光，避免探测器接收到的光强度过度饱和，并减少元素之间的光强干扰值。

光源透镜：采用石英玻璃材料MgF2层，以确保C、S、P、N等紫外波长具有最强的光强度，使紫外短波测量结果更可靠。